测量元件是一个热阴极电离真空计。电子从热丝中发射出来，并通过电偏压装置加速射向源位置。快速移动的电子与气体分子发生碰撞，撞出电子，从而对气体进行电离。正气体离子向带负电的离子收集器提供电流。离子电流与压力成比例。离子越多，离子电流越高。四极阵列由四个不锈钢电极组成。直流和高频电压施加到所有电极后，会形成一个复杂的磁场。通过改变电压，可以控制该磁场。

产生的振动只允许特定质量的离子“飞过”并到达检测部分：

• 具有适当质荷比 (m/e) 的离子将以稳定的三维轨迹振荡通过电极。
• 质荷比不正确的离子将不受控制地发生振荡，并与电极发生碰撞

离子到达离子收集器并产生输出电流，该电流用于度量通过滤波器的离子相对丰度。离子电流或分压与质荷比的关系随后显示在装置上或软件中。

根据所述工作原理，LEYSPEC RGA 通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。这使 LEYSPEC 能够识别气体污染物，并执行进一步的工艺和设备控制，从而优化工艺性能和产量。